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多通道电流体喷射扫描系统

文献类型:专利

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作者高平奇; 叶继春; 杨熹; 何坚; 周素琼
发表日期2017-02-22
专利号CN106423696A
著作权人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
国家中国
文献子类发明
英文摘要本发明公开了一种多通道电流体喷射扫描系统,包括机台扫描移动装置和喷枪固定与切换系统。机台可以在x和y方向移动,机台和喷枪间距可以手动调节。该喷枪固定与切换系统包括旋转支架、喷嘴支架以及微注射头,旋转支架安装于固定装置上,喷嘴支架安装于旋转支架上,微注射头与喷嘴支架连接。其中,在旋转支架的外周安装多个喷嘴支架或在喷嘴支架上安装多个微注射头,从而实现在同一位置喷射不同液体。本发明的多通道电流体喷射扫描系统采用多通道电流体喷射扫描技术,制样速率和样品容量均比传统压电控制喷射仪器高1‑2个数量级,最小特征样品尺寸可低至亚微米,实现真正意义上微纳米器件级别的“组合芯片”。
公开日期2017-02-22
申请日期2016-09-07
状态公开
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15993]  
专题宁波材料技术与工程研究所_专利成果
推荐引用方式
GB/T 7714
高平奇,叶继春,杨熹,等. 多通道电流体喷射扫描系统, 多通道电流体喷射扫描系统, 多通道电流体喷射扫描系统, 多通道电流体喷射扫描系统. CN106423696A. 2017-02-22.

入库方式: OAI收割

来源:宁波材料技术与工程研究所

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