氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性
文献类型:期刊论文
作者 | 薛群基; 王立平; 王福; 鲁志斌; 张广安 |
刊名 | 摩擦学学报
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出版日期 | 2017 |
期号 | 03页码:357-363 |
英文摘要 | 为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响,以C_2H_2和CF_4为气源,通过等离子体增强化学气相沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜.采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、化学组成和力学性能,利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能.结果显示:较低F含量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si_3N_4的摩擦系数;少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶ZrO_2和Al_2O_3的摩擦系数;薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高;高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩擦系数产生明显波动,而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加;值得注意的是,高F含量薄膜在不同体系中都表现出高摩擦低磨损的特点.高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为. |
公开日期 | 2017-12-25 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/13387] ![]() |
专题 | 2017专题 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛群基,王立平,王福,等. 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性[J]. 摩擦学学报,2017(03):357-363. |
APA | 薛群基,王立平,王福,鲁志斌,&张广安.(2017).氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性.摩擦学学报(03),357-363. |
MLA | 薛群基,et al."氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性".摩擦学学报 .03(2017):357-363. |
入库方式: OAI收割
来源:宁波材料技术与工程研究所
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