Si含量对VAlSiN涂层微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王恩青; 岳建岭; 李淼磊; 李栋; 黄峰 |
| 刊名 | 材料工程
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| 出版日期 | 2017 |
| 期号 | 04页码:70-76 |
| 英文摘要 | 采用反应磁控溅射技术,在300℃下制备不同Si含量的VAlSiN涂层。研究Si含量的变化对VAlSiN涂层相结构、生长形貌、化学状态、力学性能和摩擦磨损性能的影响。结果表明:不含Si的VAlN涂层呈现(111)择优取向生长。随着Si含量的增加,VAlSiN涂层的(111)择优取向逐渐消失,最终转变为非晶结构。Si含量大于1.8%(原子分数,下同)的VAlSiN涂层是由nc-VAlN和a-Si_3N_4组成的多相复合涂层。与VAlN涂层相比,添加少量Si(0.8%)的VAlSiN涂层晶粒尺寸减小,致密度得到提高,对应的涂层硬度也得到显著增大,达到30.1GPa。继续增加Si的含量,VAlSiN涂层的柱状生长结构被打断,硬度逐渐下降,最后稳定在22GPa左右。VAlSiN涂层的摩擦因数随着Si含量的增加先降低后升高。当Si含量为0.8%时涂层的磨损率最低,达1.2×10~(-16)m~3·N~(-1)·m~(-1)。 |
| 公开日期 | 2017-12-25 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/13413]  |
| 专题 | 2017专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王恩青,岳建岭,李淼磊,等. Si含量对VAlSiN涂层微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响[J]. 材料工程,2017(04):70-76. |
| APA | 王恩青,岳建岭,李淼磊,李栋,&黄峰.(2017).Si含量对VAlSiN涂层微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响.材料工程(04),70-76. |
| MLA | 王恩青,et al."Si含量对VAlSiN涂层微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响".材料工程 .04(2017):70-76. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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