Effect of rapid thermal annealing condition on the structure and conductivity properties of polycrystalline silicon films on glass
文献类型：会议论文
| 作者 | Wang, WY; Wang, Weiyan; Huang, Jinhua; Zhang, Xianpeng; Song, Weijie; Tan, Ruiqin |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议日期 | SEP 25-28, 2010 |
| 关键词 | Polycrystalline Silicon Magnetron Sputtering Rapid Thermal Annealing Crystallization |
| 会议录出版者 | FUNCTIONAL AND ELECTRONIC MATERIALS |
| 会议录出版地 | Qingdao, PEOPLES R CHINA |
| ISSN号 | 0255-5476 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/16446]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 通讯作者 | Wang, WY |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, WY,Wang, Weiyan,Huang, Jinhua,et al. Effect of rapid thermal annealing condition on the structure and conductivity properties of polycrystalline silicon films on glass[C]. 见:. SEP 25-28, 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。