Ga-doped ZnO films by magnetron sputtering at ultralow discharge voltages: Effects of defect annihilation
文献类型:会议论文
作者 | Chen, Yuyun; Meng, Fanping; Ge, Fangfang; Huang, Feng; Huang,F |
出版日期 | 2017 |
会议日期 | APR 24-28, 2017 |
关键词 | Ga-doped Zno Magnetron Sputter Ultralow Discharge Voltage Defect Annihilation |
会议录出版者 | THIN SOLID FILMS |
会议录出版地 | San Diego, CA |
ISSN号 | 0040-6090 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/16185] ![]() |
专题 | 2017专题 |
通讯作者 | Huang,F |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen, Yuyun,Meng, Fanping,Ge, Fangfang,et al. Ga-doped ZnO films by magnetron sputtering at ultralow discharge voltages: Effects of defect annihilation[C]. 见:. APR 24-28, 2017. |
入库方式: OAI收割
来源:宁波材料技术与工程研究所
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