金属/类金刚石/金属结构的电学特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭鹏; 柯培玲; 汪爱英 |
| 出版日期 | 2017 |
| 页码 | 1 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 Msm 电学特性 |
| 产权排序 | 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室中国科学院宁波材料技术与工程研究所; |
| 英文摘要 | 类金刚石薄膜(DLC)是一类新型碳基非晶半导体材料,主要由sp3键(金刚石相)和sp2键(石墨相)组成,在场发射、传感器、集成电路等电学领域具有应用潜力。在DLC电学应用中,金属/DLC/金属(MSM)结构会影响器件的性能,然而由于DLC组分、结构差异以及DLC/金属界面的不同,MSM结构的电学行为可表现为DLC体材料决定或者由DLC/金属界面决定。因此,本文采用磁控溅射技术制备不同成相能力的Al和Cr金属层,采用离子束技术沉积DLC,构建了不同MSM结构,并系统研究其电学行为。采用XPS,Raman光谱、TEM分析DLC薄膜的组分以及微观结构,采用EMCRX-HF型低温探针台系统表征MSM结构的I-V以及R-T电学行为。结果表明:在-5～5 V电压范围内,MSM结构的电荷输运主要由DLC决定,满足Poole-Frenkel机制,其电流主要受到缺陷态之间的热辅助跃迁限制。此外,薄膜电导率随温度变化的关系曲线表明,DLC(300 K)电导率约为1.2×10~(-11)ohm~(-1)?cm~(-1),在150～400 K范围内,其电子输运具有热激活特性,为典型的Arrhenius型导电,热激活能0.1576 e V。 |
| 公开日期 | 2018-12-04 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/16673]  |
| 专题 | 2017专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭鹏,柯培玲,汪爱英. 金属/类金刚石/金属结构的电学特性研究[J],2017:1. |
| APA | 郭鹏,柯培玲,&汪爱英.(2017).金属/类金刚石/金属结构的电学特性研究.,1. |
| MLA | 郭鹏,et al."金属/类金刚石/金属结构的电学特性研究".(2017):1. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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