KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 佟军民; 王冬梅 |
| 刊名 | 机械设计与制造
 |
| 出版日期 | 2017 |
| 期号 | 6页码:164-166 |
| ISSN号 | 1001-3997 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8950]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 佟军民,王冬梅. KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析[J]. 机械设计与制造,2017(6):164-166. |
| APA | 佟军民,&王冬梅.(2017).KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析.机械设计与制造(6),164-166. |
| MLA | 佟军民,et al."KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析".机械设计与制造 .6(2017):164-166. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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