基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 佟军民; 刘俊伯; 胡松 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
 |
| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 54期号:8页码:260-268 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8959]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 佟军民,刘俊伯,胡松. 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54(8):260-268. |
| APA | 佟军民,刘俊伯,&胡松.(2017).基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.激光与光电子学进展,54(8),260-268. |
| MLA | 佟军民,et al."基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析".激光与光电子学进展 54.8(2017):260-268. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。