双离子束溅射中红外SiO2薄膜热稳定性研究（英文）
文献类型：期刊论文
| 作者 | 尚鹏; 季一勤; 赵道林; 熊胜明; 刘华松; 李凌辉; 田东 |
| 刊名 | 光子学报
 |
| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 46期号:8页码:102-108 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8941]  |
| 专题 | 光电技术研究所_薄膜光学技术研究室（十一室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尚鹏,季一勤,赵道林,等. 双离子束溅射中红外SiO2薄膜热稳定性研究（英文）[J]. 光子学报,2017,46(8):102-108. |
| APA | 尚鹏.,季一勤.,赵道林.,熊胜明.,刘华松.,...&田东.(2017).双离子束溅射中红外SiO2薄膜热稳定性研究（英文）.光子学报,46(8),102-108. |
| MLA | 尚鹏,et al."双离子束溅射中红外SiO2薄膜热稳定性研究（英文）".光子学报 46.8(2017):102-108. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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