薄膜与衬底的结合性能一直备受关注。在各种情况下，薄膜的性能都依赖于其与衬底的附着力大小。为了提高附着强度，需要深刻理解附着力的机理和开发合适的附着力测试技术。从基准附着力、热力学附着能和实际附着力三个不同角度提供了附着力评价途径。作为广泛使用的附着力粘接测试技术，拉脱法和压带剥落法等方法在大量样品测试方面具有独特优势，可定性、半定量地评价薄膜附着性能。