半导体薄膜材料紫外透过率均匀性测试系统
文献类型：专利
| 作者 | 1 苏志国 2许金通 3 张文静 4胡其欣 5袁永刚 6李向阳 7刘骥 |
| 发表日期 | 2009 |
| 专利号 | 200710170724.0 |
| 著作权人 | 上海技术物理研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 公开日期 | 2011-07-06 |
| 申请日期 | 2007 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/997]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1 苏志国 2许金通 3 张文静 4胡其欣 5袁永刚 6李向阳 7刘骥. 半导体薄膜材料紫外透过率均匀性测试系统. 200710170724.0. 2009-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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