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铟镓砷台面列阵探测器芯片的台面钝化膜及制备方法

文献类型:专利

作者1张可锋2唐恒敬3吴小利4徐国庆5李雪 6朱龙源7龚海梅
发表日期2009
专利号200710171389.6
著作权人上海技术物理研究所
国家中国
文献子类发明
公开日期2011-07-06
申请日期2007
语种中文
状态公开
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/1007]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
1张可锋2唐恒敬3吴小利4徐国庆5李雪 6朱龙源7龚海梅. 铟镓砷台面列阵探测器芯片的台面钝化膜及制备方法. 200710171389.6. 2009-01-01.

入库方式: OAI收割

来源:上海技术物理研究所

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