铟镓砷台面列阵探测器芯片的台面钝化膜及制备方法
文献类型:专利
作者 | 1张可锋2唐恒敬3吴小利4徐国庆5李雪 6朱龙源7龚海梅 |
发表日期 | 2009 |
专利号 | 200710171389.6 |
著作权人 | 上海技术物理研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
公开日期 | 2011-07-06 |
申请日期 | 2007 |
语种 | 中文 |
状态 | 公开 |
源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/1007] ![]() |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 1张可锋2唐恒敬3吴小利4徐国庆5李雪 6朱龙源7龚海梅. 铟镓砷台面列阵探测器芯片的台面钝化膜及制备方法. 200710171389.6. 2009-01-01. |
入库方式: OAI收割
来源:上海技术物理研究所
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