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新型纳米尺寸MOSFET器件的模拟和设计

文献类型:期刊论文

作者胡伟达; 陈效双; 全知觉
刊名红外
出版日期2007-02-10
卷号28期号:2页码:7-11
关键词器件模拟 数值方法 Mosfet Finfet 短沟道效应
英文摘要在半导体器件的研制过程中,用计算机数值模拟取代测量方法来优化设计器件的性能参数,则器件的调试周期将显著缩短,费用将大幅度降低。本文简述了新型纳米尺寸MOSFET器件模拟的主要物理模型和数值方法,阐述MOSFET相关器件模拟的国内外研究动态,判断其发展趋势和研究方向。
公开日期2011-08-30
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/1751]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
胡伟达,陈效双,全知觉. 新型纳米尺寸MOSFET器件的模拟和设计[J]. 红外,2007,28(2):7-11.
APA 胡伟达,陈效双,&全知觉.(2007).新型纳米尺寸MOSFET器件的模拟和设计.红外,28(2),7-11.
MLA 胡伟达,et al."新型纳米尺寸MOSFET器件的模拟和设计".红外 28.2(2007):7-11.

入库方式: OAI收割

来源:上海技术物理研究所

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