Si (211) substrate thinning technology for HgCdTe focal plane arrays on Si substrates
文献类型：期刊论文
| 作者 | Shan Zhang∗; Chenfei Wang; Juying Cao; Xiaoning Hu |
| 刊名 | SPIE
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 公开日期 | 2011-08-30 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/1862]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Shan Zhang∗,Chenfei Wang,Juying Cao,et al. Si (211) substrate thinning technology for HgCdTe focal plane arrays on Si substrates[J]. SPIE,2010. |
| APA | Shan Zhang∗,Chenfei Wang,Juying Cao,&Xiaoning Hu.(2010).Si (211) substrate thinning technology for HgCdTe focal plane arrays on Si substrates.SPIE. |
| MLA | Shan Zhang∗,et al."Si (211) substrate thinning technology for HgCdTe focal plane arrays on Si substrates".SPIE (2010). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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