(111) 晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘从峰; 方维政; 涂步华; 孙士文; 杨建荣 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 26期号:9 |
| 公开日期 | 2011-11-08 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/2962]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘从峰,方维政,涂步华,等. (111) 晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比[J]. 半导体学报,2005,26(9). |
| APA | 刘从峰,方维政,涂步华,孙士文,&杨建荣.(2005).(111) 晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比.半导体学报,26(9). |
| MLA | 刘从峰,et al."(111) 晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比".半导体学报 26.9(2005). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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