Low Energy Inductively Coupled Plasma Etching of HgCdTe
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xiaoning Hu; Zhenhua Ye; Ruijun Ding; Li He |
| 刊名 | SPIE
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 公开日期 | 2011-11-08 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/2974]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xiaoning Hu,Zhenhua Ye,Ruijun Ding,et al. Low Energy Inductively Coupled Plasma Etching of HgCdTe[J]. SPIE,2005. |
| APA | Xiaoning Hu,Zhenhua Ye,Ruijun Ding,&Li He.(2005).Low Energy Inductively Coupled Plasma Etching of HgCdTe.SPIE. |
| MLA | Xiaoning Hu,et al."Low Energy Inductively Coupled Plasma Etching of HgCdTe".SPIE (2005). |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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