微悬臂梁非制冷红外探测器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘海涛; 陈永平; 梁平治 |
| 刊名 | 红外
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| 出版日期 | 2004-06-10 |
| 卷号 | 25期号:6页码:1-5 |
| 关键词 | 微悬臂梁 红外 非制冷焦平面 光机械 |
| 英文摘要 | 本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造。由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别，用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲。用偏振光对弯曲程度进行检测，在CCD上呈现偏振光的干涉图案。它完全消除了由电路引入的噪声。目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右，但其理论值仅为几mK。 |
| 公开日期 | 2011-11-14 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/3154]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘海涛,陈永平,梁平治. 微悬臂梁非制冷红外探测器的研究[J]. 红外,2004,25(6):1-5. |
| APA | 刘海涛,陈永平,&梁平治.(2004).微悬臂梁非制冷红外探测器的研究.红外,25(6),1-5. |
| MLA | 刘海涛,et al."微悬臂梁非制冷红外探测器的研究".红外 25.6(2004):1-5. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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