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单片集成于SOI上的光电探测器

文献类型:期刊论文

作者董金珠; 江美玲; 梁平治
刊名红外
出版日期2004-06-10
卷号25期号:6页码:6-14
关键词Soi 光电探测器 光电二极管 集成
英文摘要介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性。
公开日期2011-11-14
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/3155]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
董金珠,江美玲,梁平治. 单片集成于SOI上的光电探测器[J]. 红外,2004,25(6):6-14.
APA 董金珠,江美玲,&梁平治.(2004).单片集成于SOI上的光电探测器.红外,25(6),6-14.
MLA 董金珠,et al."单片集成于SOI上的光电探测器".红外 25.6(2004):6-14.

入库方式: OAI收割

来源:上海技术物理研究所

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