单片集成于SOI上的光电探测器
文献类型:期刊论文
作者 | 董金珠; 江美玲; 梁平治 |
刊名 | 红外
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出版日期 | 2004-06-10 |
卷号 | 25期号:6页码:6-14 |
关键词 | Soi 光电探测器 光电二极管 集成 |
英文摘要 | 介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性。 |
公开日期 | 2011-11-14 |
源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/3155] ![]() |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 董金珠,江美玲,梁平治. 单片集成于SOI上的光电探测器[J]. 红外,2004,25(6):6-14. |
APA | 董金珠,江美玲,&梁平治.(2004).单片集成于SOI上的光电探测器.红外,25(6),6-14. |
MLA | 董金珠,et al."单片集成于SOI上的光电探测器".红外 25.6(2004):6-14. |
入库方式: OAI收割
来源:上海技术物理研究所
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