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一种在氮化铝晶体上的欧姆接触电极结构及制备方法

文献类型:专利

作者1储开慧 2许金通 3包西昌 4 李向阳 5 戴江 6陈长清
发表日期2011
专利号200910226314.2
著作权人上海技术物理研究所
国家中国
文献子类发明
公开日期2011-12-15
申请日期2009
语种中文
状态公开
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/3601]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
1储开慧 2许金通 3包西昌 4 李向阳 5 戴江 6陈长清. 一种在氮化铝晶体上的欧姆接触电极结构及制备方法. 200910226314.2. 2011-01-01.

入库方式: OAI收割

来源:上海技术物理研究所

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