红外器件的成像光谱研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 蔡炜颖 |
| 答辩日期 | 2003-05-29 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 陆卫 |
| 关键词 | 拉曼光谱 激光束诱导电流 硅桥 碲镉汞红外探测器件 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | 本论文采用显微拉曼和激光束诱导电流两种成像光谱的方法分别对硅桥红外目标模拟器和碲镉汞红外探测器两种器件进行了研究，主要内容及成果如下： 1. 建立显微拉曼光谱对红外目标模拟器中硅电阻微桥的局域温度测量方法。将测温方法与成像光谱手段结合，研究了硅桥的热传导状况，通过与模拟计算结果的比较，得到了受桥形等设计因素影响的桥体热特征，也得到了由制备工艺引入的诸如均匀性、腐蚀状况等影响的实际桥体的具体状况。通过对硅桥热特性较为系统的研究，为该类器件的优化设计和工艺反馈提供了一些基础信息。 2. 建立了激光束诱导电流扫描成像谱的检测系统。通过走步精度、光斑尺寸等系统评估测试，表明该系统是具有一定特色的，适合碲镉汞红外器件pn结构，特别是近表面特性的研究系统。 3. 用激光束诱导电流成像谱对碲镉汞中、短波红外器件及pn结功能结构进行了一系列的测量，既反映了列阵器件如均匀性等的相关质量，又揭示了光敏元形状、成结状况等pn结特性。通过指数模型提取少子的扩散长度，研究了掺杂在诱导电流上的反映，并用漂移-扩散模型为进一步研究作了铺垫。 |
| 学科主题 | 红外基础研究 |
| 公开日期 | 2012-06-25 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4025]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡炜颖. 红外器件的成像光谱研究[D]. 中国科学院研究生院. 2003. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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