微桥电阻阵列动态红外景象产生器研制
文献类型：学位论文
| 作者 | 李守荣 |
| 答辩日期 | 2003-01-20 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 梁平治 |
| 关键词 | 半实物仿真 红外景象产生器 微桥电阻 微机械 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | 应用微机械加工技术发展起来的微桥电阻阵列，是我国具有明显竞争优势的动态红外景象产生器，其相关技术在红外仿真系统和非致冷红外焦平面技术中具有重要价值。根据该技术发展需要，本文对微桥电阻阵列进行了研究，并成功研制了工艺复杂的微桥结构电阻，其研究工作具有重要的学术意义和应用价值。主要研究工作如下： 1. 对三种电阻阵列的单元结构进行了调研和分析。指出了微桥结构电阻阵列具有功耗低、高辐射、满足不同幀频要求的动态红外景象产生和适合模拟各种红外目标的优点，是发展大阵列、高性能的电阻阵列动态红外景象产生器的必要选择。 2. 用有限元分析软件ANSYS对微桥电阻的结构进行了功耗、响应速度和高辐射效率的优化设计。 3. 对微桥电阻进行了工艺设计和制定了工艺流程。 4. 对器件的制造工艺进行了大量的实验，解决了微桥电阻制造过程中的一些关键性问题，其中包括：牺牲层技术、介质膜应力平衡技术以及辐射元电阻材料的选择与制作等。总结和摸索出一套和硅IC工艺相兼容的微桥电阻的制造工艺。并对64×64微桥电阻阵列的工艺进行了试验。 5. 对制作成功的单元微桥电阻的温度系数、伏安特性、辐射温度范围、温度分辨率、响应时间以及微桥电阻介质膜红外辐射率等进行了性能测试和分析，结果表明其性能适合于进一步研制面阵器件。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-06-25 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4029]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李守荣. 微桥电阻阵列动态红外景象产生器研制[D]. 中国科学院研究生院. 2003. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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