氧化铟锡（ITO）膜红外光学特性研究和可见--红外宽光谱分色片研制
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘定权 |
| 答辩日期 | 2008-12-26 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 严义埙 |
| 关键词 | 氧化铟锡膜 自由载流子浓度 红外光学特性 宽光谱分色 |
| 学位专业 | 物理电子学 |
| 英文摘要 | 在我国的风云系列气象等卫星上的光学遥感仪器中，通常有多达二十几个光谱通道分布在从可见光到长波红外（0.4 ~15µm）的宽光谱范围。为了将不同的光谱分配到不同的光路和探测焦面上，需要研制（超）宽光谱分色片。要求分色片的光谱覆盖所有光谱通道，反射或透射的光学能量高，反射区和透射区之间的光谱过渡迅速。利用氧化铟锡等透明导电膜的红外反射特性，结合光学介质膜堆的配合，实现了可见和近红外区的(诱导)透射,收缩了透射区到反射区的过渡范围，0.45~1.1μm的平均透射率达到85%以上，2.0~15μm的平均反射率达到90%，满足新一代气象卫星多光谱光学载荷对宽光谱分色的要求，比现在分色片光学效率提高接近10%。同时，在0.3~0.4的近紫外区也实现了70%以上的透射，为海洋遥感中紫外光谱和热红外光谱的同机工作提供了可能。利用在高真空中电子束蒸发沉积的方法，在玻璃、蓝宝石等基片上镀制了氧化铟锡(ITO)透明导电膜。对不同基片、沉积温度、氧分压、沉积速率、离子束辅助轰击等条件下得到的膜层，进行了光谱、SEM、XPS、XRD和电阻率等项测试分析，找到了最佳实用工艺条件。研究表明：改变成膜条件，能够改变膜层中的自由载流子浓度，进而调整透射和红外反射光谱；膜层多由尺寸为几十纳米的ITO晶粒组成，未见层状或柱状结构；发现用氩离子辅助轰击，会引起膜层的晶格膨胀；膜层的自由载流子浓度达1021/cm3数量级，具备了透明导电膜的良好特质。 |
| 学科主题 | 红外系统与元部件 |
| 公开日期 | 2012-07-11 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4408]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘定权. 氧化铟锡（ITO）膜红外光学特性研究和可见--红外宽光谱分色片研制[D]. 中国科学院研究生院. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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