钛酸锶钡铁电多层膜的制备及物性研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 洪学鹍 |
| 答辩日期 | 2007-05-25 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 戴宁 |
| 关键词 | 溶胶－凝胶工艺 钛酸锶钡 铁电多层膜 相分离 光学微腔 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | 1、本论文在相分离技术的基础上，采用单一前驱体溶液，通过溶胶—凝胶工艺制备了周期性长度可以同可见光相比拟的无铅型钛酸锶钡多层膜，具有16个周期的钛酸锶钡多层膜其反射率可达95％，反射带表现出对称的平顶结构,带宽达75nm。利用扫描电镜等表征手段对多层膜的微结构进行分析，研究了不同退火温度对多层膜微结构和布拉格反射特性的影响。 2、通过改变溶胶—凝胶工艺的参数和前驱体溶液的组分，实现了对钛酸锶钡多层膜反射带位置及带宽的调控，优化了器件性能。 3、在钛酸锶钡高反膜系中，引入一个致密的钛酸锶钡膜层作为缺陷层，制备了品质因子大于60的单模光学微腔；通过改变缺陷层的厚度实现了对光学谐振模频率的调控。同时，利用传输矩阵法对单模微腔的反射性能进行了模拟。 4、在钛酸锶钡高反膜中引入两个致密的钛酸锶钡缺陷层，形成一种新的光学微腔。我们发现位于反射带内的两个透射峰强度跟多层膜中两个缺陷层的相对厚度紧密相关，表明该类微腔是一种性能良好的耦合光学微腔。 5、通过对多层膜进行锰掺杂，使漏电流下降了近一个数量级，并且得到了形状良好的电滞回线，而且锰的掺入能有效地改善多层膜的截面形貌，但未能抑制材料的介电损耗。 |
| 学科主题 | 红外基础研究 |
| 公开日期 | 2012-08-14 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4662]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪学鹍. 钛酸锶钡铁电多层膜的制备及物性研究[D]. 中国科学院研究生院. 2007. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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