Mn1.56Co0.96Ni0.48O4薄膜的光学、磁学性质及ZnO薄膜的光学性质研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 高艳卿 |
| 答辩日期 | 2010-01-13 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 褚君浩 |
| 关键词 | 锰钴镍氧化物薄膜 光学常数 磁学性质 Zno薄膜 Azo薄膜 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCN)薄膜的光学性质的研究有助于理解MCN薄膜内部的微观电子结构和能带结构，从而进一步促进它们在微电子领域广泛的应用。其磁学性质的研究对MCN薄膜在自旋电子学中的应用有重要的意义。ZnO以及ZnO:Al(AZO)薄膜在激光器、透明电极、太阳能电池等方面有广泛的应用，是近年研究的热点，但是对其光学性质的研究还不够深入。基于这种现状，本论文主要研究了MCN薄膜的光学和磁学性质以及ZnO薄膜和AZO薄膜的光学性质：1. 分别在石英、Si、Al2O3和Pt/Ti/SiO2/Si这四种基底制备MCN薄膜，生长在Al2O3和Pt基底上的薄膜结晶性较好。在550℃~850 ℃退火温度下制备MCN薄膜，发现850 ℃之前，随着退火温度的升高，MCN薄膜的晶格常数afilm、晶粒大小和粗糙度逐渐增大；退火温度增加到850 ℃时，薄膜的粗糙度减小。制备厚度为0.4 μm~2 μm的MCN薄膜，发现随着厚度的增加，薄膜晶粒变大，晶粒间的空隙也逐渐减少，薄膜致密度增加。2. 研究了退火温度为500 ℃的非晶和600 ℃的结晶MCN薄膜可见和红外波段的光学性质。获得可见波段非晶和结晶MCN薄膜的折射率和消光系数，结晶MCN薄膜的和都出现两个特征峰，分别对应着两个临界点跃迁E01 (3.91 eV) 和E02 (1.68 eV)；获得红外波段非晶和结晶MCN薄膜的光学常数和。3. 用化学溶液沉积法在450 ℃~750 ℃的生长温度下制备MCN薄膜样品，得到MCN薄膜的磁学性质与其微观结构的关系。在居里温度Tc处MCN薄膜出现从顺磁到铁磁性的转变，而且顺磁部分符合修正的居里-外斯定律；随着结晶性的增强，薄膜内磁性离子的铁磁性耦合以及饱和磁矩Ms增加，但矫顽力Hc减小。4.研究了基底温度为120 ℃~420 ℃的ZnO薄膜的透射光谱，得到基底温度对ZnO薄膜介电函数的影响。研究了溅射时间分别为900 s、1800 s、3600 s时的ZnO薄膜的透射光谱，得到厚度对ZnO薄膜介电函数的影响。研究了氧气所占的比率分别为10%、20%、30%和40%的ZnO薄膜的透射光谱，得到氧分压对ZnO薄膜介电函数的影响。5. 研究了基底温度为120~420 ℃时AZO薄膜的透射光谱，得到基底温度对AZO薄膜介电函数的影响。Al离子的掺杂及基底温度的增加使AZO薄膜的带隙增大。 |
| 学科主题 | 红外基础研究 |
| 公开日期 | 2012-09-11 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/5176]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高艳卿. Mn1.56Co0.96Ni0.48O4薄膜的光学、磁学性质及ZnO薄膜的光学性质研究[D]. 中国科学院研究生院. 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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