沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响
文献类型：会议论文
| 作者 | 罗海瀚; 刘定权; 尹欣 |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议日期 | 2011-09-05 |
| 会议录 | 大会报告
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| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/5862]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗海瀚,刘定权,尹欣. 沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响[C]. 见:. 2011-09-05. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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