一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器
文献类型：专利
| 作者 | 1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣 |
| 发表日期 | 2012 |
| 专利号 | 201110063540.0 |
| 著作权人 | 上海技术物理研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 公开日期 | 2013-01-14 |
| 申请日期 | 2011 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/6905]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣. 一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器. 201110063540.0. 2012-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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