一种基于化学机械抛光工艺的铟柱制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 1 刘丹 2陈昱 3 冯婧文 4 周松敏 5曹菊英 6林春7 何高胤 8 胡晓宁 |
| 发表日期 | 2014-06-12 |
| 专利号 | 201410259001.8 |
| 著作权人 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 公开日期 | 2017-01-11 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://202.127.2.71:8080/handle/181331/11620]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 作者单位 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1 刘丹 2陈昱 3 冯婧文 4 周松敏 5曹菊英 6林春7 何高胤 8 胡晓宁. 一种基于化学机械抛光工艺的铟柱制备方法. 201410259001.8. 2014-06-12. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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