两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能
文献类型:期刊论文
作者 | 谢浩; 胡淑红; 王洋; 黄田田; 潘晓航; 孙艳; 戴宁 |
刊名 | 激光与光电子学进展
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出版日期 | 2017 |
期号 | 11页码:332-336 |
关键词 | 薄膜 液相外延 步冷法 超冷法 GaAs0.9Sb0.1薄膜 |
英文摘要 | 分别采用液相外延瞬态法的两种不同模式———步冷法和超冷法生长了 GaAs0.9Sb0.1薄膜。采用X射线衍射谱、扫描电镜、拉曼光谱仪研究了 GaAs0.9Sb0.1薄膜的晶体结构、 截面形貌发光性能等。研究结果表明:与超冷法相比,步冷法生长外延薄膜的速率更加缓慢 但薄膜晶体结构的质量更高、界面更平滑;两种不同液相外延模式生长的 GaAs0.9Sb0.1薄膜的光致发光性能差别不大。 |
源URL | [http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12198] ![]() |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
作者单位 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢浩,胡淑红,王洋,等. 两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能[J]. 激光与光电子学进展,2017(11):332-336. |
APA | 谢浩.,胡淑红.,王洋.,黄田田.,潘晓航.,...&戴宁.(2017).两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能.激光与光电子学进展(11),332-336. |
MLA | 谢浩,et al."两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能".激光与光电子学进展 .11(2017):332-336. |
入库方式: OAI收割
来源:上海技术物理研究所
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