用于光电功能器件的金属波导微腔光耦合结构的工艺制程
文献类型：专利
| 作者 | 1陆卫 2 王旺平 3李宁 4李志锋 5陈效双 6俞立明 7张波 8李天信 9陈平平 10甄红楼 11王少伟 |
| 发表日期 | 2013 |
| 专利号 | 201110082811.7 |
| 著作权人 | 上海技术物理研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 公开日期 | 2013-12-20 |
| 申请日期 | 2011 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/7283]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1陆卫 2 王旺平 3李宁 4李志锋 5陈效双 6俞立明 7张波 8李天信 9陈平平 10甄红楼 11王少伟. 用于光电功能器件的金属波导微腔光耦合结构的工艺制程. 201110082811.7. 2013-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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