Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究
文献类型:期刊论文
作者 | 韩熙1,2; 郑建云1,3![]() ![]() |
刊名 | 摩擦学学报
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出版日期 | 2017 |
卷号 | 37期号:3页码:310-317 |
关键词 | 类金刚石薄膜 Al掺杂 Sp3结构 水介质 Dlc Films Al-doping Sp3-c Water |
ISSN号 | 1004-0595 |
DOI | 10.16078/j.tribology.2017.03.005 |
英文摘要 | 采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC). 分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为. 结果表明:Al掺杂使得薄膜中sp3-C的生长受到抑制,sp2-C增加,表面吸附水分子能力变强,在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小,从而使得摩擦磨损减小. 通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控,在最优Al含量时,Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能. |
学科主题 | 材料科学与物理化学 |
资助项目 | 空间润滑材料研究组 |
语种 | 中文 |
资助机构 | 国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB632302);国家自然科学基金项目(51375471);青岛市自主创新计划(16-5-1-97-jch) |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/22554] ![]() |
专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_青岛研发中心/青岛市资源化学与新材料研究中心 |
通讯作者 | 郑建云; 郝俊英 |
作者单位 | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 2.中国科学院大学,北京 100049 3.青岛市资源化学与新材料研究中心,山东 青岛 266000 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩熙,郑建云,张帅拓,等. Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(3):310-317. |
APA | 韩熙,郑建云,张帅拓,刘金玉,&郝俊英.(2017).Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究.摩擦学学报,37(3),310-317. |
MLA | 韩熙,et al."Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究".摩擦学学报 37.3(2017):310-317. |
入库方式: OAI收割
来源:兰州化学物理研究所
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