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氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性

文献类型:期刊论文

作者张广安2; 薛群基2; 王福1,2; 鲁志斌2; 王立平3
刊名摩擦学学报
出版日期2017
卷号37期号:3页码:357-363
关键词非晶碳基薄膜 摩擦 磨损 摩擦化学 Amorphous Carbon Films Fluorine Friction Wear Tribochemistry
ISSN号1004-0595
DOI10.16078/j.tribology.2017.03.011
英文摘要

为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响,以C2H2和CF4为气源,通过等离子体增强化学气相沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜. 采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、化学组成和力学性能,利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能. 结果显示:较低F含量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si3N4的摩擦系数;少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶ZrO2和Al2O3的摩擦系数;薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高;高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩擦系数产生明显波动,而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加;值得注意的是,高F含量薄膜在不同体系中都表现出高摩擦低磨损的特点. 高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为.

学科主题材料科学与物理化学
资助项目低维材料摩擦学研究组
语种中文
资助机构国家自然科学基金项目(51305433)
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/22674]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者张广安
作者单位1.中国科学院 中科院大学,北京 100049)
2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000
3.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201
推荐引用方式
GB/T 7714
张广安,薛群基,王福,等. 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性[J]. 摩擦学学报,2017,37(3):357-363.
APA 张广安,薛群基,王福,鲁志斌,&王立平.(2017).氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性.摩擦学学报,37(3),357-363.
MLA 张广安,et al."氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性".摩擦学学报 37.3(2017):357-363.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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