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采用铟束流保护下的调制中断生长技术改善(0001)GaN表面形貌

文献类型:期刊论文

作者钟飞 ; 邱凯 ; 李新化 ; 尹志军 ; 姬长建 ; 韩奇峰 ; 曹先存 ; 陈家荣 ; 段钺宏 ; 周秀菊 ; 王玉琦
刊名半导体学报
出版日期2007
期号8
合作状况其它
学科主题纳米材料与技术
收录类别其他
公开日期2009-10-20
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/750]  
专题合肥物质科学研究院_中科院固体物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
钟飞,邱凯,李新化,等. 采用铟束流保护下的调制中断生长技术改善(0001)GaN表面形貌[J]. 半导体学报,2007(8).
APA 钟飞.,邱凯.,李新化.,尹志军.,姬长建.,...&王玉琦.(2007).采用铟束流保护下的调制中断生长技术改善(0001)GaN表面形貌.半导体学报(8).
MLA 钟飞,et al."采用铟束流保护下的调制中断生长技术改善(0001)GaN表面形貌".半导体学报 .8(2007).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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