Structural, optical properties and band gap alignments of ZrOxNy thin films on Si (1 0 0) by radio frequency sputtering at different deposition temperatures
文献类型：期刊论文
| 作者 | L.Q. Zhu ; Q. Fang ; X.J. Wang ; J.P. Zhang ; M. Liu ; G.He ; L.D. Zhang |
| 刊名 | applied surface science
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 254 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 纳米材料与技术 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2010-07-14 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/3497]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院固体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | L.Q. Zhu,Q. Fang,X.J. Wang,et al. Structural, optical properties and band gap alignments of ZrOxNy thin films on Si (1 0 0) by radio frequency sputtering at different deposition temperatures[J]. applied surface science,2008(254). |
| APA | L.Q. Zhu.,Q. Fang.,X.J. Wang.,J.P. Zhang.,M. Liu.,...&L.D. Zhang.(2008).Structural, optical properties and band gap alignments of ZrOxNy thin films on Si (1 0 0) by radio frequency sputtering at different deposition temperatures.applied surface science(254). |
| MLA | L.Q. Zhu,et al."Structural, optical properties and band gap alignments of ZrOxNy thin films on Si (1 0 0) by radio frequency sputtering at different deposition temperatures".applied surface science .254(2008). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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