钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 方前锋 ; 杨俊峰; 王先平; 刘庆
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| 发表日期 | 2008 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | cn101244644 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院合肥研究院 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 学科主题 | 新型功能材料与固体内耗 |
| 公开日期 | 2009-11-10 ; 2009-11-10 |
| 申请日期 | 2007 |
| 专利申请号 | cn200710020151 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/1768]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院固体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方前锋,杨俊峰,王先平,等. 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法. cn101244644. 2008-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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