电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孟月东 ; 刘峰
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| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 6 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 等离子体物理与核聚变研究 |
| 收录类别 | 其他 |
| 公开日期 | 2009-11-09 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/1536]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院等离子体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孟月东,刘峰. 电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究[J]. 真空科学与技术学报,2007(6). |
| APA | 孟月东,&刘峰.(2007).电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究.真空科学与技术学报(6). |
| MLA | 孟月东,et al."电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究".真空科学与技术学报 .6(2007). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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