高精度双F－P角位移测量仪
文献类型：专利
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| 作者 | 张彩妮 ; 王向朝 |
| 发表日期 | 2004-10-06 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL03116347.5 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 高精度双F-P角位移测量仪，包括：带有驱动电源的调制光源，沿着调制光源发出的光束的前进方向上放置着准直物镜和反射镜，在该反射镜的反射光束前进方向上放置被测转动镜面，该被测转动镜面反射光方向上放置一分束镜，该分束镜的端口b出射光束方向上依次放置第一F-P干涉仪、第一透镜和第一光电转换元件，该第一光电转换元件经第一模数转换器与计算机相连，分束镜端口c出射光束方向依次放置第二F-P干涉仪、第二透镜和第二光电转换元件，第二光电转换元件经第二模数转换器与计算机的相连，分束镜端口d放置第三光电转换元件并经图像采集卡与 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-04-11 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03116347.5 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8670]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张彩妮,王向朝. 高精度双F－P角位移测量仪, 高精度双F－P角位移测量仪. ZL03116347.5. 2004-10-06. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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