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高精度单F-P板角位移测量仪

文献类型:专利

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作者张彩妮 ; 王向朝
发表日期2005-09-14
专利国别中国
专利号ZL03150505.8
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种高精度单F-P板角位移测量仪,它包含有带驱动电源的调制光源,沿着该调制光源发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜和起反射镜,在反射镜的反射光束的前进方向上置有待测物体,在该待测物体反射光的前进方向上置有F-P板和分束镜,该分束镜的端口b透射光束方向上置有透镜和光电转换元件,该光电转换元件与连接计算机的模数转换元件相连,在该分束镜的端口c反射光束方向上置有CCD图像探测器,该CCD图像探测器与连接计算机的模数转换元件相连。
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2003-08-22
语种中文
专利申请号CN03150505.8
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8682]  
专题上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
张彩妮,王向朝. 高精度单F-P板角位移测量仪, 高精度单F-P板角位移测量仪. ZL03150505.8. 2005-09-14.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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