微小转角干涉测量装置
文献类型：专利
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| 作者 | 郑德锋 ; 王向朝 |
| 发表日期 | 2007-06-20 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200510025282.1 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种微小转角干涉测量装置，其结构是：一调制光源由调制驱动电源驱动，在该调制光源发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件，在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜，进入第一测量臂组件，在所述的分光元件的第二出射光束前进方向放置第二测量臂组件，在所述的分光元件的第三出射光束前进方向上置有光电转换元件，该光电转换元件之后依次串连信号放大器、模数转换器与计算机。本发明的角位移测量分辨率由在先技术中的10-4度(1.75＊10-6rad |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2005-04-21 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510025282.1 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8818]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑德锋,王向朝. 微小转角干涉测量装置, 微小转角干涉测量装置. ZL200510025282.1. 2007-06-20. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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