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离子交换工艺中基片表面的保护方法

文献类型:专利

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作者韩秀友 ; 方祖捷 ; 庞拂飞 ; 初凤红 ; 蔡海文 ; 瞿荣辉
发表日期2008-01-02
专利国别中国
专利号ZL200610023418.X
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种离子交换工艺中基片表面的保护方法,该方法的实质是利用一种含有与基片相同的可交换离子且具有抵抗熔盐侵蚀能力的玻璃材料,采用镀膜的方法淀积在基片的表面上,达到在离子交换过程中防止熔盐侵蚀的作用。本发明离子交换工艺中基片表面的保护方法材料成本低廉、工艺简单易行、效果良好。
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2006-01-18
语种中文
专利申请号CN200610023418.X
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8886]  
专题上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
韩秀友,方祖捷,庞拂飞,等. 离子交换工艺中基片表面的保护方法, 离子交换工艺中基片表面的保护方法. ZL200610023418.X. 2008-01-02.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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