软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 张需明 ; 王桂英 ; 曹根娣 ; 王之江 |
| 发表日期 | 2001-05-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL97106366.4 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种软Ｘ射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法。纳米针孔在Ｘ射线非冗余全息术中、Ｘ射线扫描显微术和Ｘ射线成象显微术以及光盘存储信息中有着重要的应用。本发明采用两种方法制作纳米针孔，一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜，利用圆胶点形成小孔，再用电镀法缩孔，另一种方法是利用基片表面的不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径ａ〈２００纳米，孔深Ｈ〉２００纳米，且孔缘厚度ｈ〉５０纳米的纳米针孔。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 1997-04-08 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN97106366.4 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9694]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_先进激光技术与应用系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张需明,王桂英,曹根娣,等. 软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法, 软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法. ZL97106366.4. 2001-05-23. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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