真空室内在线更换基片的装置
文献类型：专利
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| 作者 | 齐红基 ; 汤兆胜 ; 易葵 ; 邵建达 |
| 发表日期 | 2005-08-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL02136223.8 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种真空室内实现在线更换基片的装置，包括由空心转轴和同心置放在空心转轴内的实心转轴构成的转轴。当空心转轴与实心转轴由两顶丝固定在一起时，带动基片夹具与挡板一起转动。当两顶丝松开时，空心转轴与实心转轴分别带动基片夹具和挡板转动，改变基片夹具与挡板的相对位置。从而，实现在不破坏真空室内的真空度情况下，在线更换待镀膜的基片。有两种结构供选择。与在先技术相比，本发明具有结构简单，在线更换待镀膜基片操作方便，使用本发明的装置，能够大大缩短薄膜新产品的开发周期。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2002-07-26 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN02136223.8 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10120]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐红基,汤兆胜,易葵,等. 真空室内在线更换基片的装置, 真空室内在线更换基片的装置. ZL02136223.8. 2005-08-24. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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