高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 徐学科 ; 范正修 ; 汤兆胜 ; 邵建达 |
| 发表日期 | 2006-01-11 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL003129233.X |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法，该高温金属蒸发舟采用经900--1200℃高温退火处理后的钽片制作的，为长方舟，其尺寸和结构的比例关系为：蒸发舟的总长度，包括两翅片为(88±3)mm，舟槽的长、深、宽分别为45±2mm，10±3mm，24±3mm，利用该蒸发舟镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法，包括真空镀膜的一般步骤，其特征在于其蒸发电流为150-200A，充氧量12±2Sccm，真空度控制在0.9-1×10-2Pa，基底的烘烤温度为280±20℃，蒸镀时间根据阻值的需 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-06-13 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03129233.X |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10124]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐学科,范正修,汤兆胜,等. 高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法, 高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法. ZL003129233.X. 2006-01-11. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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