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离子束流密度测量装置

文献类型:专利

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作者张大伟 ; 范瑞英 ; 方明 ; 邵建达 ; 范正修 ; 张东平 ; 尚淑珍 ; 范树海
发表日期2006-04-05
专利国别中国
专利号ZL200410017709.9
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种离子束流密度测量装置,其特征在于该装置的构成是:一紫铜圆盘,该圆盘的中心位置具有一连成一体的紫铜探测体,一底座,该底座的中轴位置有一通孔,供所述的探测体插设形成离子接收器;一可调直流电压,其负极通过一导线与所述的圆盘相连,其正极经一电流表接地。本发明具有结构简单、灵活、实用和操作方便的特点。
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2004-04-15
语种中文
专利申请号CN200410017709.9
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10134]  
专题上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张大伟,范瑞英,方明,等. 离子束流密度测量装置, 离子束流密度测量装置. ZL200410017709.9. 2006-04-05.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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