使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 尚淑珍 ; 易葵 ; 张大伟 ; 占美琼 ; 廖春艳 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 发表日期 | 2006-09-20 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200410018158.8 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种在镀膜机的真空室内使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法，其基本原理是：薄膜的几何厚度与光学厚度成一定比例关系，采用单独的监控片进行膜厚控制，在镀膜过程中使用挡板，使基片的膜料被均匀遮挡掉一定比例，而控制片的膜料不被遮挡，以实现控制片上的膜厚与基片上的膜厚成一定比例，控制片上的膜厚与监控波长相符，基片上的膜厚由监控波长与挡板的形状所决定，为控制片上的膜厚的几分之一，从而达到用长波做监控波长控制短波长薄膜制备的目的。本发明是利用现有镀膜机的光控系统进行的，可实现紫外薄膜的精确监控，提高了设备的通用性。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-05-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200410018158.8 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10136]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尚淑珍,易葵,张大伟,等. 使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法, 使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法. ZL200410018158.8. 2006-09-20. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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