膜层光谱的实时测量装置
文献类型：专利
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| 作者 | 高慧慧 ; 朱美萍 ; 肖连君 ; 易葵 ; 范正修 |
| 发表日期 | 2007-06-27 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200620043654.3 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置，该测量装置包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机，该计算机有两个RS232标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器，所述的计算机与所述的单色仪和所述的锁相放大器进行通讯，按设定的扫描控制程序采集数据并进行数据处理。本实用新型可以在线获得已镀膜层在不同波长的透过率，即获得已镀膜层在一定波段范围内的光学特性曲线，由此可预知镀膜效果，从而对镀膜过程进行评价和指导。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2006-07-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200620043654.3 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10168]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高慧慧,朱美萍,肖连君,等. 膜层光谱的实时测量装置, 膜层光谱的实时测量装置. ZL200620043654.3. 2007-06-27. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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