高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置
文献类型：专利
| ; | |
| 作者 | 陈建文 ; 高鸿奕 ; 朱化凤 ; 李儒新 ; 徐至展 |
| 发表日期 | 2005-09-28 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200420082617.4 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置，其特征在于它的结构是：在激光光源输出光束的前进方向依次设扩束望远镜和第一分束器，该第一分束器的透射光束A与待测的硅单晶单色器成一夹角，其反射光束经第二全反射镜反射而入射到第二分束器再反射进入探测器，该第一分束器的反射光束B经第一反射镜的反射入射到第二分束器，其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束，探测器的记录界面垂直于该干涉光束，探测器的信号线接计算机。本实用新型具有高分辨、无损伤、无接触、在线检测的优点，分辨能力达到λ/20。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2004-09-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200420082617.4 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8382]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈建文,高鸿奕,朱化凤,等. 高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置, 高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置. ZL200420082617.4. 2005-09-28. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。