石英波片厚度的测量装置
文献类型：专利
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| 作者 | 欧阳斌 ; 林礼煌 ; 张秉钧 |
| 发表日期 | 2008-04-02 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200720070787.4 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种石英波片厚度的测量装置，该装置由装置主体、接口卡和计算机构成，所述的装置主体包括激光束、该激光束经光束引导镜分成透射光束和反射光束，在透射光束方向是监测器，在反射光束方向依次是起偏器、待测波片置放台、检偏器和检测器，所述的监测器、待测波片置放台、检偏器和检测器通过屏蔽电缆经接口卡与计算机相连接。利用本实用新型装置可对石英波片厚度进行自动测量，不需要预先确定石英波片的光轴方向，只需要一种波长的激光光源，就能以较高的测量精度和速度测出所处实际环境温度下石英波片的厚度，并可给出该波片在任一波长和任何环境温度 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2007-06-08 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200720070787.4 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8478]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 欧阳斌,林礼煌,张秉钧. 石英波片厚度的测量装置, 石英波片厚度的测量装置. ZL200720070787.4. 2008-04-02. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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