MgIn2O4/MgO复合衬底材料及其制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 徐军 ; 周圣明 ; 杨卫桥 ; 彭观良 |
| 发表日期 | 2005-07-13 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL03141904.6 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种MgIn2O4/MgO复合衬底材料及其制备方法，该复合衬底材料是在MgO单晶上设有一层MgIn2O4覆盖层构成。该复合衬底材料的制备方法是：先利用脉冲激光淀积方法在MgO单晶衬底上制备In2O3薄膜，然后在高温下，通过In2O3与MgO的固相反应，在MgO单晶衬底上形成MgIn2O4覆 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-07-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03141904.6 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9910]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐军,周圣明,杨卫桥,等. MgIn2O4/MgO复合衬底材料及其制备方法, MgIn2O4/MgO复合衬底材料及其制备方法. ZL03141904.6. 2005-07-13. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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