色心蓝宝石衬底的制备方法
文献类型：专利
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| 作者 | 蒋成勇 ; 徐军 ; 周圣明 ; 杨卫桥 ; 周国清 ; 王银珍 ; 彭观良 ; 邹军 ; 刘士良 ; 张俊计 ; 邓佩珍 |
| 发表日期 | 2006-05-17 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200310108224.6 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种色心蓝宝石衬底的制备方法，包括下列步骤：对已切割并抛光的蓝宝石衬底进行中子辐照，辐照剂量约为1015-1020 neutron/cm2；采用金属有机物气相沉积法(MOCVD法)在已辐照后的蓝宝石衬底上外延生长GaN层；采用248nm的KrF准分子激光对芯片进行划片；采用裂片机进行裂片，然后进行芯片探针测试及芯片分类。本发明的优点是：通过辐照使蓝宝石衬底划片处产生较高浓度的F类色心，增大对激光的吸收，有利于划片时提高划痕质量及划片效率；同 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-10-28 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200310108224.6 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9914]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋成勇,徐军,周圣明,等. 色心蓝宝石衬底的制备方法, 色心蓝宝石衬底的制备方法. ZL200310108224.6. 2006-05-17. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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