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掺四价铬硅酸镁晶体的生长方法

文献类型:专利

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作者徐军 ; 陈杏达 ; 周国清 ; 钟鹤裕 ; 李红军
发表日期2003-10-01
专利国别中国
专利号ZL01139222.3
专利类型发明
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
中文摘要一种掺四价铬硅酸镁晶体的生长方法,采用射频感应加热提拉法。使用炉体上带有氮气进口阀、氧气进口阀和气体出口阀的中频感应加热提拉炉。在铱坩埚的外表面上喷涂铱粉和氧化锆粉混合粉的保护层。在升温、下种、缩颈、放肩的过程中,炉体内只充入氮气,而且保持在流动状态下。在开始等径生长前,打开氧气进口阀,按氧和氮两种气体的体积百分比混合气体输进炉体内,并保持在流动状态下。在等径生长完成后,关闭氧气进口阀。在收尾过程中仍然保持在流动的氮气气氛下。收尾结束后开始降温,炉体内是保持在真空下直至降到室温。本发明与在先技术相比,铱坩
公开日期2011-07-14 ; 2011-07-15
申请日期2001-12-26
语种中文
专利申请号CN01139222.3
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9932]  
专题上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
徐军,陈杏达,周国清,等. 掺四价铬硅酸镁晶体的生长方法, 掺四价铬硅酸镁晶体的生长方法. ZL01139222.3. 2003-10-01.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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